서지주요정보
Fundamentals of semiconductor fabrication
서명 / 저자 Fundamentals of semiconductor fabrication : Gary S. May, Simon M. Sze.
저자명 May, Gary S.
Sze, S. M., 1936-
발행사항 New York : Wiley, c2004.

소장자료

등록번호

00092288

소장위치 / 청구기호

6층 과학·기술자료실 / TK7871.85 M39 2004 c.2

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서지기타정보

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청구기호 TK7871.85 M39 2004
판사항 Wiley international ed.
형태사항 xiii, 305 p. : ill. ; 26 cm.
언어 English
서지주기 Includes bibliographical references and index.
주제 Semiconductors --Design and construction.
Integrated circuits --Design and construction.
LCCN 2003276248
ISBN 9780471232797 , 0471232793
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